真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來(lái)講,是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
⑴工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許,應選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
⑵了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆粒灰塵,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
⑶在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。
⑷由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱(chēng)陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì )使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。
⑸真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無(wú)油時(shí),應該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
⑹正確地選擇工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線(xiàn)),其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應該選在這個(gè)范圍之內較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長(cháng)期工作。
⑺排出來(lái)的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無(wú)油,或者把油蒸氣排到室外。
⑻工作壓強應該滿(mǎn)足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數量級。